Vỏ than chì cho thiết bị bán dẫn
Jin Cheng Graphite, với tư cách là nhà sản xuất vỏ than chì chuyên nghiệp, cung cấp-ống bọc than chì chịu nhiệt độ cao và độ dẫn nhiệt cao cho thiết bị bán dẫn. Những ống bọc này được thiết kế đặc biệt cho-buồng phản ứng nhiệt độ cao và thiết bị chân không, có tính năng ổn định nhiệt cao, chống ăn mòn và tuổi thọ dài. Chúng được sử dụng rộng rãi trong ngành sản xuất chất bán dẫn.
Lợi thế cốt lõi
Khả năng chịu nhiệt độ cực cao
Bằng cách sử dụng than chì có độ tinh khiết cao (hàm lượng cacbon lớn hơn hoặc bằng 99,99%) và quy trình tổng hợp gốm, phạm vi chịu nhiệt độ là từ -200 độ đến 3000 độ, phù hợp với môi trường phản ứng nhiệt độ cao trong thiết bị bán dẫn.
Độ dẫn nhiệt cao
Thông qua sự kết hợp giữa cấu trúc than chì nhiều lớp và buồng chân không, điện trở nhiệt giảm xuống 0,05 K/W, đảm bảo phân phối đồng đều các khí có nhiệt độ cao- và tránh hiện tượng quá nhiệt cục bộ gây biến dạng vật liệu.
Tính ổn định hóa học mạnh
Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời, có khả năng hoạt động ổn định trong thời gian dài trong các khí xử lý bán dẫn như hydro và nitơ, giúp giảm tần suất bảo trì thiết bị.
Kịch bản ứng dụng
Thiết bị buồng phản ứng nhiệt độ cao-
Được sử dụng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn như CVD và PVD, ống bọc than chì có thể dẫn nhiệt đều, cải thiện độ ổn định và năng suất của quy trình.
Hệ thống sưởi ấm môi trường chân không
Trong quá trình sấy và ủ các tấm bán dẫn, ống bọc than chì giúp phân bổ nhiệt đồng đều, giảm nguy cơ căng thẳng nhiệt.
Thiết bị laze công suất cao-
Tương thích với các hộp chứa tia laser năng lượng cao, nó nhanh chóng dẫn nhiệt qua ống bọc than chì để đảm bảo thiết bị vận hành an toàn.
Thông số kỹ thuật
| Độ dẫn nhiệt | 250 - 400 W/m·K (có thể tùy chỉnh theo yêu cầu của quy trình) |
| Phạm vi nhiệt độ hoạt động | -200 độ đến 3000 độ |
| Môi trường khí thích hợp | hydro, nitơ, argon, vv khí quá trình bán dẫn |
| Xử lý bề mặt | đánh bóng / sơn plasma (có thể tùy chỉnh) |
Đảm bảo chất lượng than chì Tấn Thành
Dựa trên 20 năm kinh nghiệm nghiên cứu vật liệu than chì, Tấn Thành Graphite áp dụng công nghệ tổng hợp chân không đã được cấp bằng sáng chế và công nghệ nạp than chì cấp độ nanomet-để đảm bảo độ ổn định của ống bọc than chì trong các điều kiện khắc nghiệt. Được chứng nhận bởi hệ thống chất lượng ISO 9001 và tiêu chuẩn hàng không vũ trụ AS9100, nó đáp ứng các yêu cầu của các kịch bản ứng dụng có độ tin cậy cao-.
Cam kết hợp tác
JinThành Graphite cung cấp dịch vụ tùy chỉnh-quy trình đầy đủ từ thiết kế, sản xuất đến hậu mãi-, hỗ trợ sản xuất thử hàng loạt-nhỏ và tùy chỉnh-quy mô lớn. Nó đảm bảo chu kỳ giao hàng ngắn và chi phí có thể kiểm soát được. Thông qua mạng lưới hậu cần toàn cầu và các nhóm dịch vụ địa phương, công ty cung cấp các giải pháp ống bọc than chì hiệu quả và ổn định cho thiết bị bán dẫn, giúp đạt được-hoạt động ổn định lâu dài của các quy trình-có độ chính xác cao.
Chú phổ biến: ống lót than chì cho thiết bị bán dẫn, ống lót than chì cho các nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà máy thiết bị bán dẫn Trung Quốc
